半導体拡散炉構成温度制御装置
1052半導体産業において、拡散炉は半導体材料の表面にドーピング層を製造するために使用される装置である。高温加熱と制御された拡散雰囲気によってドーピングプロセスを実現する。
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半導体産業において、拡散炉は半導体材料の表面にドーピング層を製造するために使用される装置である。高温加熱と制御された拡散雰囲気によってドーピングプロセスを実現する。
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詳細を見るIt is widely used in the semiconductor manufacturing process to control the temperature of the reaction chamber, the temperature of the heat sink, and the temperature control of the non-flammable fluid of the heat transfer...
詳細を見る温度制御範囲:-45℃~250℃ ;電力範囲:2.5kW~25kW ;温度制御精度:±0.3℃ チップ専用高温・低温テストボックス 半導体電子部品の製造において、過酷な環境下で使用される。
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