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LTS -20℃~80

LTS -20℃~80℃ Fluoride cooling and heating system

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1 LTS -20℃~80℃ Fluoride cooling and heating system
1.1 製品データダウンロード
1.2 パラメータ 詳細
1.3 商品説明
1.4 これらの製品にもご興味があるかもしれません。
Temperature control during semiconductor manufacturing
  • フロー制御12L/min~45L/min
  • Internal circulating liquid4L~10L
  • 膨張タンク10L~20L
  • 原産地中国
フッ素系液体温度制御LTSシリーズ半導体テストチラー
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製品データダウンロード

パラメータ 詳細

モデルLTS-202LTS-203LTS-204LTS-206LTS-208
LTS-202WLTS-203WLTS-204WLTS-206WLTS-208W
温度範囲 -20℃～35℃
温度制御精度±0.1℃  at  -20℃～0℃
フロー制御 7～25L/分12～45L/分
The flow control adopts frequency converter adjustment, and the speed is automatically adjusted according to the feedback signal of the flow sensor. The maximum pressure of the circulating pump is 5bar.
Internal circulating fluid volume4L5L6L8L10L
膨張タンク容量10L10L15L15L20L
システム圧力表示The pressure of the refrigeration system is realized by a pointer pressure gauge (high pressure, low pressure)
The pressure acquisition outlet position of the circulatory system is detected by a pressure sensor and displayed on the touch screen
コントローラーPLC、ファジーPID制御アルゴリズム、カスケード制御アルゴリズム付き
温度制御熱媒体出口温度制御モード
External temperature sensor: (PT100 or 4～20mA or communication setting) control mode (cascade control)
同意書イーサネット・インターフェース TCP/IPプロトコル
RS485インターフェース modbus RTUプロトコル
Internal temperature feedback of equipmentEquipment heat transfer medium outlet temperature, medium inlet temperature, refrigeration system condensation temperature, ambient temperature, compressor suction temperature, cooling water temperature (available for water-cooled equipment)
閉鎖循環システムThe whole system is a fully enclosed system, low temperature does not absorb moisture in the air, does not volatilize the heat transfer medium, and the low temperature automatically supplements the heat transfer medium into the circulation system
コンプレッサーEmerson Copeland/Danfoss Scroll Flexible Compressor
循環ポンプMagnetic circulation pump
蒸発器プレート式熱交換器
コンデンサーMicro channel condenser (air-cooled)
Plate heat exchanger (water-cooled), special attention: clean factory water is required
冷凍アクセサリーDanfoss/Emerson accessories (filter drier, oil separator, high and low pressure protector, expansion valve)
操作パネルLNEYAカスタマイズされた7インチカラータッチスクリーン、温度カーブ表示。
セキュリティWith self-diagnosis function; phase sequence open-phase protector, refrigerating machine overload protection; high-pressure pressure switch, overload relay, thermal protection device and other security functions.
入出力インターフェースサイズZG1/2ZG1/2ZG3/4ZG3/4ZG3/4

商品説明

It is widely used in the semiconductor manufacturing process to control the temperature of the reaction chamber, the temperature of the heat sink, and the temperature control of the non-flammable fluid of the heat transfer medium.

1. The pressure holding test of the medium circulation system is 7 bar.
2. Use high-quality magnetic pump without mechanical shaft seal.
温度の見本抽出および応答の速度を、特に設計制御アルゴリズム最大限に活用して下さい、安定した温度調整にすぐに答えることができます。
4. Enhance the design of the circulating pump capacity to meet the high-lift requirements of the system.
5. Continuous high-temperature cooling technology meets the requirements for stable operation when heat is loaded on the heat sink plate and requires cooling and heating constant temperature control.
6. In view of the volatile characteristics of fluorinated liquid, the joint design and system sealing design are strengthened to ensure the service life of the medium.




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