LNEYA工業用冷凍機 メーカー サプライヤー
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半導体チラー
コンパクト、高精度、環境に優しい
温度範囲 -100℃～90℃ 温度精度 ±0.05℃
LNEYA® Semiconductor Chillers characteristics
LNEYA は国際的に先進的な液体温度制御技術を代表し、部品テスト システムの温度テスト シミュレーションを積極的に調査研究し、温度方向が広く、温度の上昇と下降が大きく、温度範囲は -100°C ～ +90°C、温度制御精度は最大 ±0.05℃ です。
製品には、フッ素系液体の温度制御（最低-100度）とマルチチャンネル連続温度制御機能が搭載されています。すべての機器は、システムの安全性と信頼性を確保するために、工場出荷前に100%アンモニア試験と100%安全性試験を実施しています。
high-precision Process chillers Video
Integrates refrigeration heating and temperature control functions. It is mainly used for temperature control in semiconductor FAB processes and packaging and testing processes.
Saving more than 20% energy compared to the old products; it adopts a fully enclosed pipeline design to reduce the demand for heat transfer medium, and at the same time, the heat discharged by the compressor is used for heating within 40℃, so the circulation heating can be achieved without a heater.
FLTZ 5℃~90℃
プロセスチラー
Cooling capacity 6kW~40kW
Cooling water flow 1.5m³/h~9m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -25℃～90℃
熱冷却装置
Cooling capacity 2kW~15kW
Cooling water flow 1.2m³/h~10.2m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -45℃～90℃
低温チラー
Cooling capacity 1kW~8kW
Cooling water flow 1.5m³/h~8m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -80℃～+90℃
循環水チラー
Cooling capacity 0.6kW~3kW
Cooling water flow 1.8m³/h~6m³/h
Temp accuracy ±0.05℃
FLTZ -100℃～+90℃
再循環チラー
Cooling capacity 1.5kW~3kW
Cooling water flow 50L/min~100L/min 2bar~7bar
Temp accuracy ±0.05℃
Semiconductor Chiller Applications
半導体製造は極めて高い環境要件を伴うプロセスであり、厳格な温度管理が製品の性能を左右します。半導体チラーは、半導体業界のパッケージングおよび試験プロセス、半導体製造工場（FAB）プロセスの温度制御、半導体計測システムにおけるCMOS/CCDセンサーの冷却、半導体計測AOIシステムの循環冷却、キャビティ側壁の独立温度制御、プラズマベベルエッチングおよびデポジション、金属タングステンの熱原子層エッチングなどに広く使用されています。
Why Choose LNEYA® ?
The semiconductor industry has very strict requirements on temperature control accuracy. Many process steps are extremely sensitive to temperature changes. The performance and quality of the products rely on high-precision semiconductor chillers. LNEYA provides professional thermal management solutions for the semiconductor industry.
温度範囲が非常に広く、液体媒体を交換する必要がない；
効率的な生産の安定性と再現性の結果；
高温冷却技術は、直接300℃で冷却するためにコンプレッサーを起動します。
熱伝導性液体の寿命を延ばす完全密閉システム；
プレート式熱交換器とパイプラインヒーターを使用して、冷却と加熱の速度を向上させる；
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