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負圧チラー

ZLFQ-80 25℃/35℃ 導体業界向け

各種基板冷却に適した負圧環境冷却温度制御。

負圧発生装置により熱媒体(水/油)を循環させ、漏れのリスクを回避し、ガス回路基板の冷却に適しています。

ZLFQ SERIES

25℃/30°C

供給・戻り流体温度

80KW

定格熱交換容量

±0.1°C

温度制御精度


装置名 負圧循環温度制御装置
型番 ZLFQ-80
定格熱交換器容量 80kW
一次侧
(介质侧)
作動媒体 純水、フッ化物溶液、グリコール水溶液など
定格流量 300L/MIN
リザーバ容量 120L
供給および戻り温度 25/35℃
温度制御精度 ±0.3℃
真空ポンプ容量 130m³/h
負圧ヘッド 70KPA
内部循環ポンプ構成 1+1冗長性
ポートサイズ ZG1-1/4
二次侧
(冷却侧)
冷却媒体 PCW
冷却流量 4m³/h
濾過精度 50um
ポートサイズ ZG1
制御システム PLC コントローラー、フィードフォワード制御+制御ヒステリシス PID アルゴリズム
通信プロトコル RS485 シリアルインターフェース MODBUS RTU プロトコル/イーサネットインターフェース TCP/IP プロトコル
液体供給の漏れ率 漏れのない負圧循環
安全保護 自己診断機能;機器の過負荷保護;低液面保護など
その他の機能 自動漏れ検出、自動液体排出、自動補充などの機能
電源 AC220V/50HZ,8A(max)
装置外寸 cm 130(L)*70(W)*185(H)

FLTZ -25℃~90℃
サーマルチラー

冷却容量 2kW~15kW
冷却水流量 1.2m3/h~10.2m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

FLTZ -45℃~90℃
低温スリラー

冷却容量 1kW~8kW
冷却水流量 1.5m3/h~8m3/h
温度調整精度 ±0.1℃

FLTZ -80℃~+90℃
循環の水スリラー

冷却容量 0.6kW~3kW
冷却水の流れ 1.8m3/h~6m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

FLTZ -100℃~+90℃
循環のスリラー

冷却容量 1.5kW~3kW
冷却水の流れ 50L/min~100L/min 2bar~7bar
温度調整の精密 ±0.1℃

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