lowest
Highest
温度制御精度
低温冷却アプリケーションにおいて、比類ない優位性を発揮します。
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| Model | FLTZ-803W~810W | ||||
| Temperature range | -80℃～+90℃ | ||||
| Temperature control accuracy | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||
| Flow control | 7～45L/min 6bar max | ||||
| Cooling capacityat-70℃ | 0.6kW~3kW | ||||
| Heating capacity | 2kW~3.5kW | ||||
| Internal circulating fluid volume | 4L~10L | ||||
| Expansion tank volume | 10L~20L | ||||
| Heat-conduction medium | Fluorinated liquid | ||||
| Cooling water@20℃ | 1.8m3/h~6m3/h | ||||
| Dimension cm | 550*700*1750~800*1200*1850 | ||||
FLTZ-80℃～90℃
循環水冷機は卓越した性能を備え、半導体製造の前工程冷却および後工程プロセスに広く応用されています。
同シリーズの他のプロセスチラー
冷却容量 2kW~15kW
冷却水流量 1.2m3/h~10.2m3/h
温度制御精度 ±0.1℃
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冷却水流量 1.5m3/h~8m3/h
温度調整精度 ±0.1℃
冷却容量 0.6kW~3kW
冷却水の流れ 1.8m3/h~6m3/h
温度制御精度 ±0.1℃
冷却容量 1.5kW~3kW
冷却水の流れ 50L/min~100L/min 2bar~7bar
温度調整の精密 ±0.1℃
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