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冷却装置チラー/プロセスチラー

LENYA冷水機は±0.05℃の制御精度を保証します

半導体製造とテストにおける精密な温度制御。全体システムは完全密封システムです。低温時、空気中の水分を吸収せず、高温時、熱伝達媒体を蒸発させず、油霧を発生させません。低温時、熱伝達媒体を循環システムに自動補充します。冷水機サプライヤーとして、LNEYAはより高い温度制御精度を備えた産業用冷水機を提供することにコミットしています。

FLTZ SERIES 002
002W
003
003W
004
004W
006
006W
008
008W
010
010W
015
015W
Temperature range 5℃~90
Temperature control accuracy ±0.05℃(Steady state outlet temperature
Cooling capacity @10 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
Refrigerant R410A
Cooling water flow @20 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h

Internal circulating fluid volume 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
Expansion tank volume 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
Refrigerant R410A
Connection size ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG3/4 ZG3/4 ZG1 ZG1
Cooling water connection size ZG1/2 ZG1/2 ZG3/4 ZG1 ZG1 ZG1 ZG1 1/8
Refrigerating medium Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃)
Process temperature control The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self
 built tree algorithm and cascade algorithm

カタログをダウンロード→

構造詳細

  • カスタマイズされた7インチカラータッチスクリーンによる温度曲線表示 / Excelデータエクスポート
  • RS485インターフェース、MODBUS RTUプロトコル、Ethernetインターフェース、TCP/IPプロトコル
  • 複数の故障アラーム機能を備えたPLCプログラマブルコントローラー
  • シェル材質:冷間圧延鋼板(スプレー塗装)、RAL7035
  • 配管内部:ステンレス鋼SUS304、銅、セラミック、炭化ケイ素、シリコンシーラント

冷却装置チラーアプリケーション

FLTZ デュアルチャンネル冷水メインフレームは、その優れた温度制御技術により、半導体産業の重要なプロセス中断に広く影響を与えています。ウェハー製造からチップパッケージング、テストに至るまで、あらゆる面で信頼性の高い温度制御ソリューションを提供し、位置安定性の高い熱管理のニーズにお応えします。

FLTZ -25℃~90℃
サーマルチラー

冷却容量 2kW~15kW
冷却水流量 1.2m3/h~10.2m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

FLTZ -45℃~90℃
低温スリラー

冷却容量 1kW~8kW
冷却水流量 1.5m3/h~8m3/h
温度調整精度 ±0.1℃

FLTZ -80℃~+90℃
循環の水スリラー

冷却容量 0.6kW~3kW
冷却水の流れ 1.8m3/h~6m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

FLTZ -100℃~+90℃
循環のスリラー

冷却容量 1.5kW~3kW
冷却水の流れ 50L/min~100L/min 2bar~7bar
温度調整の精密 ±0.1℃

FAQお問い合わせ

なぜLNEYAの工業用冷水機を選ぶべきですか?

LNEYAは複数の栄誉を受賞しており、康寧社から「2021年度優秀反応器技術サプライヤー」賞、2024年度中国エネルギー貯蔵業界最優秀温度制御技術ソリューション賞、E級認証を取得しています。さらに、24時間アフターサービスを提供し、ご要望に迅速に対応します。

カスタム要件に対応できますか?

もちろんです!当社の水冷式冷水機組は、具体的な温度制御範囲や冷却媒体などに応じてカスタマイズ可能です。さらに、正圧防爆や隔離防爆が必要な場合も、非標準カスタマイズに対応しています。

Lneyaプロセス冷却器の保証期間はどのくらいですか?

ご安心ください。当社は包括的なアフターサービスを提供しており、設置調整、技術トレーニング、1年間の無料保証などを含みます。当社は「顧客第一、品質最優先」の理念を掲げ、お客様がプロセス冷却器を熟練して操作し、長期的にご使用いただけるよう努めています。

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