さまざまな温度範囲をカスタマイズできます
lowest
Highest
温度制御精度
| 温度制御範囲 | ‘-70℃~200℃（様々な温度範囲のカスタマイズが可能） |
| 温度均一性 | 土0.5℃ |
| 加熱速度 | 55℃～+25℃：12分 -40℃～+25℃：10分 +25℃～+150℃：20分 +25℃～+200℃：28分 +25℃～+300℃：40分 |
| 冷却速度 | ‘+150℃～+25℃：25分 +200℃～+25℃：30分 +300℃～+25℃：40分 +25℃～0℃：15分 +25℃～-40℃：35分 +25℃～-55℃：65分 |
| 冷却方式 | 直接冷却方式/液冷方式/空冷方式 |
| ウェハ搬送基板 | ニッケルメッキ（金/非導電性）、交換が容易なチャック付きフレキシブル接続、キャリアプレート平面度 3μm ≤ 10μm |
| ウェハ吸着方式 | 真空吸着 |
すべての直接冷却の冷水モデル単位
KDS -75℃~200℃
冷却容量 -40℃@600W
温度制御精度 ±0.2℃
ZLJ & SLJ -150℃～-110℃
冷却能力 0.4kW~11kW
温度制御精度±1℃
MD -75℃～225℃
加熱・冷却 -60℃～+25℃：2分 & +25℃～-60℃：6分
温度制御精度 ±0.5℃
30,000社以上のお客様にサービスを提供。20カ国以上に輸出します。
CE認証、SGS認証、ISO認証。
包括的な技術トレーニングを提供します。年中無休でソリューションを提供します
2010年に設立され、15年の業界経験を有し、技術者が全従業員数の20％を占めます。
外観検査。性能テスト。電気安全テスト。
テマルチャックの専門家にご相談ください。
お客様のニーズを満たすカスタマイズされたプロセス温度制御ソリューション。
チラーメーカー-LNEYAサーモ冷凍株式会社
