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半導体製造装置チラー/シングルチャンネル

FLTZ -45℃~90℃

FLTZシングルチャンネルチラーは複数チャンネルの独立した精密な温度制御を簡単に実現でき、温度制御精度は±0.1℃まで可能で、半導体産業で広く評価されています。

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fltz series

-45°C

最低

90°C

最高

±0.1℃

温度制御精度


カタログ・価格については、弊社営業までお問い合わせください

Model FLTZ-002
FLTZ-002W		 FLTZ-003
FLTZ-003W		 FLTZ-004
FLTZ-004W		 FLTZ-006
FLTZ-006W		 FLTZ-008
FLTZ-008W		 FLTZ-010
FLTZ-010W		 FLTZ-015
FLTZ-015W
Temperature range 5℃～90℃
Temperature control accuracy ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Cooling capacity @10℃ 6kW 8kW 10kW 15kW 20kW 25kW 40kW
Internal circulating fluid volume 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
Expansion tank volume 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
Refrigerant R410A
Refrigerating medium Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃)
Cooling water flow @20℃ 1.5m³/h 2m³/h 2.5m³/h 4m³/h 4.5m³/h 5.6m³/h 9m³/h
Dimension cm 95*38*106 95*38*106 950*380*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150
Model FLTZ-202
FLTZ-202W		 FLTZ-203
FLTZ-203W		 FLTZ-204
FLTZ-204W		 FLTZ-206
FLTZ-206W		 FLTZ-208
FLTZ-208W		 FLTZ-210
FLTZ-210W		 FLTZ-215
FLTZ-215W
Temperature range  -25℃～90℃
Temperature control accuracy ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow MAX 10～25L/min 15～45L/min 25～75L/min
Cooling capacity @-15℃ 2kW 3kW 3.8kW 6kW 7.6kW 10kW 15kW
Internal circulating fluid volume 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
Expansion tank volume 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
Refrigerant R404A
Refrigerating medium Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc.
Cooling water flow @20℃ 1.2m³/H 1.6m³/H 2.6m³/H 3.6m³/H 5.5m³/H 7m³/H 10.2m³/H
Dimension cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*60*150 108*60*150
Model FLTZ-402
FLTZ-402W		 FLTZ-403
FLTZ-403W		 FLTZ-404
FLTZ-404W		 FLTZ-406
FLTZ-406W		 FLTZ-408
FLTZ-408W		 FLTZ-410
FLTZ-410W		 FLTZ-415
FLTZ-415W
Temperature range  -45℃～90℃
Temperature control accuracy ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow MAX 10～25L/min  5bar max 15～45L/min 5bar max 25～75L/min 5bar max
Heating Uses compressor heat to prevent condenser frost.
Cooling capacity @-35℃ 1kW 1.4kW 1.8kW 2.5kW 3.3kW 5kW 8kW
Internal circulating fluid volume 4L 5L 6L 8L 10L 12L 20L
Expansion tank volume 10L 10L 15L 15L 20L 25L 35L
Refrigerant R404A
Refrigerating medium Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc.
Cooling water flow @20℃ 1.5m³/H 2.4m³/H 3.5m³/H 5m³/H 5.5m³/H 6m³/H 8m³/H
Dimension cm 95*38*106 95*38*106 95*38*106 98*43*140 98*43*140 108*50*150 108*50*150
Model FLTZ-803W FLTZ-805W FLTZ-806W FLTZ-808W FLTZ-810W
Temperature range  -80℃～+90℃
Temperature control accuracy ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow MAX 7～25L/min  5bar 12～45L/min 6bar
Cooling capacity @-70℃ 0.6kW 1kW 1.5kW 2kW 3kW
Heating capacity 2kW 2kW 2kW 3.5kW 3.5kW
Internal circulating fluid volume 4L 5L 6L 8L 10L
Expansion tank volume 10L 10L 15L 15L 20L
Refrigerant Fluorinated fluids
Cooling water flow @20℃ 1.8m3/h 2.5m3/h 3m3/h 5m3/h 6m3/h
Circuit Breakers 25A 25A 32A 40A 50A
Model FLTZ-1002W FLTZ-1004W
Temperature range  -100℃～+90℃
Temperature control accuracy ±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow control 7～25L/min 12～45L/min
Cooling capacityat-90℃ 1.5kW 3kW
Heating capacity 3.5kW 5.5kW
Internal circulating fluid volume 5L 8L
Expansion tank volume 10L 15L
Heat-conduction medium Fluorinated liquid
Cooling water@20℃ 50L/min 2bar~7bar 100L/min 2bar~7bar

Model

FLTZ-001S

FLTZ-002S
FLTZ-002WS

FLTZ-003S
FLTZ-003WS

FLTZ-004S
FLTZ-004WS

FLTZ-006S
FLTZ-006WS

 FLTZ-008WS

FLTZ-010WS

Temp Range

15℃～25℃

Temp Control Accuracy

±0.005℃  Temperature control accuracy at the equipment outlet

Flow Rate

7L/min 3bar

15L/min  at 4bar

30L/min at 4bar

75L/min  at  4bar

Heating Power

Technology of using compressor heating to prevent condenser frosting

Cooling Capacity

@20℃

 3kw

 7kw

 10.5kw

14 kw

 21kw

 28kw

 35kw

Liquid Storage Capacity

8L

15L

20L

30L

50L

60L

80L

Refrigerant

R1234fa     （ODP=0   GWP=4）

Secondary Refrigerant(Coolant)

Purified Water

半導体製造装置チラーは半導体の製造やテストにおける精密な温度制御に使用されます。様々なアルゴリズム（PID、フィードフォワードPID、モデルフリー自作ツリーアルゴリズム）を採用し、高速応答と高い制御精度を実現しています。負荷時には、システムのより高い温度制御精度、-100℃～+90℃のフレキシブルな切り替え、優れた温度認識能力を発揮します。先進の極低温冷凍技術は、-100℃から-80℃までの超低温制御をサポートします。

FLTZ 5℃~90℃
プロセスチラー

冷却容量 6kW~40kW
冷却水の流れ 1.5m3/h~9m3/h　
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -25℃～90℃
サーマルチラー

冷却容量 2kW~15kW
冷却水流れ 1.2m3/h~10.2m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -45℃～90℃
低温スリラー

冷却容量 1kW~8kW
冷却水流れ 1.5m3/h~8m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -80℃～+90℃
循環の水スリラー

冷却容量 0.6kW~3kW
冷却水の流れ 1.8m3/h~6m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -100℃～+90℃
循環のスリラー

冷却容量 1.5kW~3kW
冷却水の流れ 50L/min~100L/min 2bar~7bar
温度制御精度 ±0.1℃

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シングルチャネルチラーアプリケーション

エージングテスト装置用

マッチング熱乾燥システムは、冷却と加熱温度を提供し、小さな温度精度誤差でウェハチップのテスト効率と品質を向上させます。

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チップテスト装置用

この恒温チラーはテスト装置とマッチングし、温度制御精度は±0.05℃であり、研究所のチップテストの効率を向上させます。

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半導体工場用

このプロセスチラーは、高精度の冷却と加熱温度制御で半導体製造工場で使用され、ウェーハの製造速度を向上させ、スクラップ率を低減します。

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LNEYA®を選ぶ理由?

半導体産業では温度制御の精度が厳しく要求され、多くの工程が温度変化に非常に敏感です。製品の性能と品質は、高精度の半導体用冷凍機にかかっています。LNEYA®は半導体業界に特化した熱管理ソリューションを提供しています。

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2.5W+
工場面積m²
400+
従業員数
300 M+
年間売上
5000+
年間生産
130+
企業特許
60+
発明特許
80+
研究開発人員数

非常に広い温度範囲、液体媒体を変える必要なし

効率的な生産安定性と再現性のある結果

高温冷却技術、冷却のための300℃直接コンプレッサー始動

熱媒体の寿命を延ばす完全密閉システム

プレート式熱交換器とパイプヒーターの使用による冷却・加熱速度の向上

LNEYA®チラーの標準カタログとサンプルブック、またはチラーのカスタマイズについては、
、LNEYA®チラーの営業担当者にお問い合わせください。

 

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FAQ

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ご安心ください。お客様のアプリケーションに最適なチラー構成を決定するために、当社の専門技術者が適切な質問をさせていただき、オプションについてアドバイスさせていただきます。

もちろんです！弊社の工場は中国の無錫にあります。現在、25,000平方メートルの工場と66,000平方メートルの新工場を建設中です。いつでもご訪問ください

国内ISO認証、CE認証、SGS認証など、市場で要求されるすべての認証に合格しており、独自の技術特許を持っています。

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