チラーメーカー-LNEYAサーモ冷凍株式会社

ウェブサイト全体を検索

クリックして検索を開始

人気の検索

水チラー、SUNDI-320、サーマルストリーム、バッテリーチラー...

半導体製造装置チラー/シングルチャンネル

FLTZ -45℃~90℃

FLTZシングルチャンネルチラーは複数チャンネルの独立した精密な温度制御を簡単に実現でき、温度制御精度は±0.1℃まで可能で、半導体産業で広く評価されています。

私達にお問い合わせを送信

fltz series

-45°C

最低

90°C

最高

±0.1℃

温度制御精度

カタログ・価格については、弊社営業までお問い合わせください

FLTZ 5℃~90℃
FLTZ -25℃~90℃
FLTZ -45℃~90℃
FLTZ -80℃~90℃
FLTZ -100℃~90℃
FLTZ 15℃~25℃

Model	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
Temperature range	5℃～90℃
Temperature control accuracy	±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Cooling capacity @10℃	6kW	8kW	10kW	15kW	20kW	25kW	40kW
Internal circulating fluid volume	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Expansion tank volume	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerant	R410A
Refrigerating medium	Silicone oil, fluorinated liquid, polyol aqueous solution, DI, etc. (DI temp needs to be controlled above 10 ℃)
Cooling water flow @20℃	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
Dimension cm	9538106	9538106	950380106	9843140	9843140	10860150	10860150

Model	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
Temperature range	-25℃～90℃
Temperature control accuracy	±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow MAX	10～25L/min		15～45L/min			25～75L/min
Cooling capacity @-15℃	2kW	3kW	3.8kW	6kW	7.6kW	10kW	15kW
Internal circulating fluid volume	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Expansion tank volume	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerant	R404A
Refrigerating medium	Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc.
Cooling water flow @20℃	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
Dimension cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10860150	10860150

Model	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
Temperature range	-45℃～90℃
Temperature control accuracy	±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow MAX	10～25L/min 5bar max		15～45L/min 5bar max			25～75L/min 5bar max
Heating	Uses compressor heat to prevent condenser frost.
Cooling capacity @-35℃	1kW	1.4kW	1.8kW	2.5kW	3.3kW	5kW	8kW
Internal circulating fluid volume	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
Expansion tank volume	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
Refrigerant	R404A
Refrigerating medium	Silicone oil, fluorinated fluid, glycol-water solution, etc.
Cooling water flow @20℃	1.5m³/H	2.4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
Dimension cm	9538106	9538106	9538106	9843140	9843140	10850150	10850150

Model	FLTZ-803W	FLTZ-805W	FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-810W
Temperature range	-80℃～+90℃
Temperature control accuracy	±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow MAX	7～25L/min 5bar		12～45L/min 6bar
Cooling capacity @-70℃	0.6kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW
Heating capacity	2kW	2kW	2kW	3.5kW	3.5kW
Internal circulating fluid volume	4L	5L	6L	8L	10L
Expansion tank volume	10L	10L	15L	15L	20L
Refrigerant	Fluorinated fluids
Cooling water flow @20℃	1.8m3/h	2.5m3/h	3m3/h	5m3/h	6m3/h
Circuit Breakers	25A	25A	32A	40A	50A

Model	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W
Temperature range	-100℃～+90℃
Temperature control accuracy	±0.1℃（Customizable temperature control accuracy of ±0.01°C.）
Flow control	7～25L/min	12～45L/min
Cooling capacityat-90℃	1.5kW	3kW
Heating capacity	3.5kW	5.5kW
Internal circulating fluid volume	5L	8L
Expansion tank volume	10L	15L
Heat-conduction medium	Fluorinated liquid
Cooling water@20℃	50L/min 2bar~7bar	100L/min 2bar~7bar

Model	FLTZ-001S	FLTZ-002S FLTZ-002WS	FLTZ-003S FLTZ-003WS	FLTZ-004S FLTZ-004WS	FLTZ-006S FLTZ-006WS	FLTZ-008WS	FLTZ-010WS
Temp Range	15℃～25℃
Temp Control Accuracy	±0.005℃ Temperature control accuracy at the equipment outlet
Flow Rate	7L/min 3bar	15L/min at 4bar		30L/min at 4bar		75L/min at 4bar
Heating Power	Technology of using compressor heating to prevent condenser frosting
Cooling Capacity @20℃	3kw	7kw	10.5kw	14 kw	21kw	28kw	35kw
Liquid Storage Capacity	8L	15L	20L	30L	50L	60L	80L
Refrigerant	R1234fa （ODP=0 GWP=4）
Secondary Refrigerant(Coolant)	Purified Water

半導体製造装置チラーは半導体の製造やテストにおける精密な温度制御に使用されます。様々なアルゴリズム（PID、フィードフォワードPID、モデルフリー自作ツリーアルゴリズム）を採用し、高速応答と高い制御精度を実現しています。負荷時には、システムのより高い温度制御精度、-100℃～+90℃のフレキシブルな切り替え、優れた温度認識能力を発揮します。先進の極低温冷凍技術は、-100℃から-80℃までの超低温制御をサポートします。

FLTZ 5℃~90℃
プロセスチラー

冷却容量 6kW~40kW
冷却水の流れ 1.5m3/h~9m3/h　
温度調整の精密 ±0.1℃

もっと見る

FLTZ -25℃～90℃
サーマルチラー

冷却容量 2kW~15kW
冷却水流量 1.2m3/h~10.2m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

もっと見る

FLTZ -45℃～90℃
低温スリラー

冷却容量 1kW~8kW
冷却水流量 1.5m3/h~8m3/h
温度調整精度 ±0.1℃

もっと見る

FLTZ -80℃～+90℃
循環の水スリラー

冷却容量 0.6kW~3kW
冷却水の流れ 1.8m3/h~6m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

もっと見る

FLTZ -100℃～+90℃
循環のスリラー

冷却容量 1.5kW~3kW
冷却水の流れ 50L/min~100L/min 2bar~7bar
温度調整の精密 ±0.1℃

もっと見る

シングルチャネルチラーアプリケーション

エージングテスト装置用

マッチング熱乾燥システムは、冷却と加熱温度を提供し、小さな温度精度誤差でウェハチップのテスト効率と品質を向上させます。

今すぐお問い合わせを送信

チップテスト装置用

この恒温チラーはテスト装置とマッチングし、温度制御精度は±0.05℃であり、研究所のチップテストの効率を向上させます。

今すぐお問い合わせを送信

半導体工場用

このプロセスチラーは、高精度の冷却と加熱温度制御で半導体製造工場で使用され、ウェーハの製造速度を向上させ、スクラップ率を低減します。

今すぐお問い合わせを送信

LNEYA®を選ぶ理由?

半導体産業では温度制御の精度が厳しく要求され、多くの工程が温度変化に非常に敏感です。製品の性能と品質は、高精度の半導体用冷凍機にかかっています。LNEYA®は半導体業界に特化した熱管理ソリューションを提供しています。

詳しく見る

工場面積m²

130+

60+

80+

研究開発人員数

非常に広い温度範囲、液体媒体を変える必要なし

効率的な生産安定性と再現性のある結果

高温冷却技術、冷却のための300℃直接コンプレッサー始動

熱媒体の寿命を延ばす完全密閉システム

プレート式熱交換器とパイプヒーターの使用による冷却・加熱速度の向上

LNEYA®チラーの標準カタログとサンプルブック、またはチラーのカスタマイズについては、
、LNEYA®チラーの営業担当者にお問い合わせください。

今すぐお問い合わせを送信

FAQ

最適なシングルチャンネルチラーをお探しですか？チラーの詳細と価格については、今すぐお問い合わせください！

ご安心ください。お客様のアプリケーションに最適なチラー構成を決定するために、当社の専門技術者が適切な質問をさせていただき、オプションについてアドバイスさせていただきます。

もちろんです！弊社の工場は中国の無錫にあります。現在、25,000平方メートルの工場と66,000平方メートルの新工場を建設中です。いつでもご訪問ください

国内ISO認証、CE認証、SGS認証など、市場で要求されるすべての認証に合格しており、独自の技術特許を持っています。

右のフォームにご記入いただくか、電子メールをお送りください。通常1時間以内に返信いたします。WhatsAppの友達86-18914253067を追加し、我々は常に返信することができます。

もちろんです。WhatsAppに追加していただくか、メールでご連絡いただければ、製品カタログをお送りします。或者直接向我们发送电子邮件至market@lneya.com

お客様のニーズを満たすカスタマイズされたプロセス温度制御ソリューション。

下記のQRコードからアカウントマネージャーを追加してください

WeChat/Phone

86 18914253067

WhatsApp

+86 1894253067

メール

market@lneya.com