FLT-100℃~90
2524シングルチャンネル空冷式クーラーで、主にエッチングマシン用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。
詳細を見る駅全体を検索
型式 FLTZ-305W FLTZ-305W/2T ダブルシステム 温度範囲 -30℃~40℃ -30℃~40℃ 温度制御精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ 流量制御 15~45L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 15~45L/min ±0.3 ポンプ圧力 6bar m...
詳細を見るModel FLT-402 FLT-402W FLT-403 FLT-403W FLT-404 FLT-404W FLT-406 FLT-406W FLT-408 FLT-408W FLT-410 FLT-410W FLT-415 FLT-415W Temp Control -45℃~40℃ Temp control accuracy ±0.1℃ Flow Control 10~25L/min 5bar max 15~45L/m...
詳細を見る40 ℃以内の加熱方式は、コンプレッサー式ホットガス加熱の完全密閉設計を採用し、24時間連続運転が可能 主に半導体製品の精密温度制御に使用される。
詳細を見る温度範囲:+5℃〜90℃±0.3℃ 冷却能力:5kw〜30kw タンク容量:6L〜15L パワー:06KW〜1.6KW 40℃以内の加熱方式は、コンプレッサーホットガス加熱完全密閉設計を採用し、マシンが動作します。
詳細を見る