LNEYA工業用冷凍機 メーカー サプライヤー
FLTZ Variable Frequency Series Chiller for Semiconductor Industry
アプリケーション
Semiconductor temperature control unit Chiller is mainly used for precise temperature control in the semiconductor production process and testing process. The company applies multiple algorithms (PID, feedforward PID, model-free self-building algorithm) in the system to achieve fast system response and high control accuracy.
製品パラメーター
FLTZ 5℃～90℃
| モデル | 002 002W |
003 003W |
004 004W |
006 006W |
008 008W |
010 010W |
015 015W |
| 温度範囲 | 5℃～90℃ | ||||||
| 冷却能力 @10 | 6kW | 8kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 40kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R410A | ||||||
| 冷凍媒体 | シリコーンオイル、フッ素系液体、ポリオール水溶液、DIなど（DI温度は10℃以上に管理する必要あり） | ||||||
| 接続サイズ | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン | ゼットジーワン | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20 | 1.5m³/h | 2m³/h | 2.5m³/h | 4m³/h | 4.5m³/h | 5.6m³/h | 9m³/h |
| 寸法cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
FLTZ -25℃～90℃
| モデル | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 温度範囲 | -25℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/分 | 15～45L/分 | 25～75L/分 | ||||
| 冷却能力@-15 | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R404A | ||||||
| 冷凍媒体 | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| 接続サイズ | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20 | 1.2m³/H | 1.6m³/H | 2.6m³/H | 3.6m³/H | 5.5m³/H | 7m³/H | 10.2m³/H |
| 寸法cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*600*1500 | 1080*600*1500 |
| プロセス温度制御 | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -45℃～90℃
| モデル | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 温度範囲 | -45℃～90℃ | ||||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||||
| フロー制御 | 10～25L/min 最大5bar | 15～45L/min 最大5bar | 25～75L/min 最大5bar | ||||
| 暖房 | Using compressor heating, prevent condenser frosting technology | ||||||
| 冷却能力 @-35 | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 冷媒 | R404A | ||||||
| 冷凍媒体 | Silicone oil, fluorinated liquid, glycol solution etc | ||||||
| 接続サイズ | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン |
| Cooling water connection size | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン | ゼットジーワン | ZG1 1/8 |
| 冷却水流量@20 | 1.5m³/H | 2.4m³/H | 3.5m³/H | 5m³/H | 5.5m³/H | 6m³/H | 8m³/H |
| 寸法cm | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 950*380*1055 | 980*430*1400 | 980*430*1400 | 1080*500*1500 | 1080*500*1500 |
| プロセス温度制御 | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
||||||
FLTZ -80℃～+90
| モデル | FLTZ-803W | FLTZ-805W | FLTZ-806W | FLTZ-808W | FLTZ-810W |
| 温度範囲 | -80℃～+90℃ | ||||
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | ||||
| フロー制御 | 7～25L/min 5bar max | 12～45L/min 6bar max | |||
| 70℃での冷却能力 | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW |
| 暖房能力 | 2kW | 2kW | 2kW | 3.5kW | 3.5kW |
| 内部循環液量 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L |
| 熱伝導媒体 | フッ素系液体 | ||||
| 接続サイズ | ZG1/2 | ZG1/2 | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ZG3/4 | ZG3/4 | ゼットジーワン | ゼットジーワン |
| 冷却水@20 | 1.8m3/h | 2.5m3/h | 3m3/h | 5m3/h | 6m3/h |
| サーキットブレーカー | 25A | 25A | 32A | 40A | 50A |
| 寸法cm | 550*700*1750 | 650*850*1850 | 700*850*1850 | 700*850*1850 | 800*1200*1850 |
| プロセス温度制御 | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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FLTZ -100℃～+90
| モデル | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W |
| 温度範囲 | -100℃～+90℃ | |
| 温度制御精度 | ±0.05℃（定常出口温度） | |
| フロー制御 | 7～25L/分 | 12～45L/分 |
| 90℃での冷却能力 | 1.5kW | 3kW |
| 暖房能力 | 3.5kW | 5.5kW |
| 内部循環液量 | 5L | 8L |
| 膨張タンク容量 | 10L | 15L |
| 熱伝導媒体 | フッ素系液体 | |
| 接続サイズ | ZG3/4 | ZG3/4 |
| Cooling water connection size | ZG3/4 | ゼットジーワン |
| 冷却水@20 | 50L/min 2bar~7bar | 100L/min 2bar~7bar |
| サーキットブレーカー | 32A | 63A |
| プロセス温度制御 | The remote target temperature can be controlled by combining the self created model free self built tree algorithm and cascade algorithm |
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製品の利点
- 効率的な生産の安定性と再現性の結果；
- プレート式熱交換器とパイプラインヒーターを使用して、冷却と加熱の速度を向上させる；
- 温度範囲が非常に広く、液体媒体を交換する必要がない；
- 熱伝導性液体の寿命を延ばす完全密閉システム；
- 磁気駆動ポンプを採用し、軸封漏れの問題がない；
- 高温冷却技術は、直接300℃で冷却するためにコンプレッサーを起動します。
可変周波数ポンプは、循環油圧圧力と流量を調整することができます。
クライアント出力信号
通信機能
アプリケーション
例えば、ファブ設備の処理温度を制御するチラーなどだ。
半導体計測システムにおけるCMOS/CCDセンサーの冷却。
半導体計測AOIシステム用循環式チラー。
シングルチャンネル空冷式クーラーで、主にエッチングマシン用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。
使用目的 プラズマベベルエッチングと蒸着; 金属タングステンの熱原子層エッチング.
LNEYAではカスタマイズされたチラーサービスを提供しています。
カスタムチラーサイズ
ポータブル、コンパクト、大型、小型の冷凍機にかかわらず、お客様のご要望に応じてカスタム設計いたします。何トンのスリラーが必要でも、私達は最もよい解決を作成してもいいです。
カスタム冷凍機タイプ
空冷式、水冷式、蒸発凝縮式など、様々な冷凍タイプのチラーを提供しています。冷凍コンプレッサーの種類にかかわらず、お客様のご要望に応じて設計いたします。
カスタム温度範囲
当社は-150℃から+350℃までの温度に対応するカスタムソリューションを作成することができます。特定の産業向けのカスタム温度範囲
カスタム冷凍機電圧
あなたの必要性に従ってスリラーの電圧および段階をカスタマイズして下さい。任意 110V/60HZ、220V/60HZ、380V/50HZ、220V/50HZ、400V/50HZ、460V/60HZ、440V~480V/60HZ、等。
LNEYA工場訪問
温度制御サプライヤーとしてneyaを選ぶ理由
18+
経験年数
30000+
顧客満足度
25000
m² 生産面積
80+
特許技術
