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AI Series Circulating Air Refrigeration Unit

AI Series Circulating Air Refrigeration Unit

アプリケーション

Applied to high and low temperature testing of semiconductor equipment. Electronic equipment high and low temperature constant temperature test cold and heat source; independent refrigeration cycle fan unit; can work continuously for a long time, automatic defrosting, and the defrosting process does not affect the storage temperature.

AI -105℃~+125℃

 

モデル AI-6535
AI-6535W
AI-8035W AI-1055W
温度範囲 -65℃~+125℃ -80℃~+125℃ -105℃~+125℃
制御モード PIDアダプティブコントローラ
通信プロトコル MODBUS RTUプロトコル、RS 485インターフェース
温度フィードバック ピーティーヒャク
操作パネル 7-inch touch screen, show temp. curve/ EXCEL date output
温度精度 ±0.05℃(Steady state outlet temperature)
暖房能力 3.5KW 3.5kW 3.5kW
冷却
容量
125℃ 3.5KW 3.5kW 3.5kW
50℃ 3.5kW 3.5kW 3.5kW
20℃ 3.5kW 3.5kw 3.5kw
0℃ 3.5kW 3.5kw 3.5kw
-20℃ 3kW 3.5kW 3.5kW
-40℃ 2.1KW 2.5kW 3.5kW
-60℃ 1KW 2.1kw 3kw
-75℃ 1kw 2kw
-95 1KW
Circulating air flow 550m³/h
Inlet and outletair intertace DN125
コンプレッサー Emerson Copeland scroll flexible compressor
安全保護 Self-diagnosis function; Phase sequence protection. freezer overload protection; high pressure switch.
overload relay. thermal protection device.
Defrosting device There are installed defrosting device and condensate drain inside
Continuous running Running continuously
Timing operation Can set timed start and stop time
冷媒 R404A R23 R404A R508B R404A R23 R14
Water-cooled 1200L/H  1.5bar~4bar 1600L/H 1.5bar~4bar 2600L/H 1.5bar~4bar
寸法cm 55*100*175 55*100*175 70*100*175
重量 280kg 300kg 360キロ
シェル素材 Cold rolled sheet spray coating REL 7035

 

 

1. Widely used in high and low temperature testing of semiconductor equipment.Cold and heat source of electronic equipment at high temperature and low temperature;

2. Independent refrigeration circulating air units;

3. Can work continuously for a long time, automatic defrosting, defrosting process does not affect the storage temperature;

4. Modular design, easy replacement of spare machine (if there are 10 machines, as long as a standby unit can);

5. Solve frequent open and close doors, evaporating system frosting problems;Evaporation system defrosting process does not affect.

6. Construct a set of high and low temperature and constant greenhouse (according to the drawings provided, the box can be joined together like building blocks to connect the electricity and water and set the temperature to work)

 

 

可変周波数ポンプは、循環油圧圧力と流量を調整することができます。

Communication function

アプリケーション

半導体FABプロセスの温度制御装置

半導体製造は、非常に高い環境要件が要求されるプロセスであり、多くのプロセス工程は温度に非常に敏感である。
精密な温度制御は、蒸着膜の均一な膜厚と正確な組成を保証し、チップの性能と歩留まりを向上させる。

半導体パッケージング&テストプロセス用

半導体のパッケージングとテスト工程は、ウェハーテスト、チップパッケージング、ポストパッケージングテストなど、半導体製造工程における重要なリンクです。この工程では、高い精度と信頼性が要求されるだけでなく、製品の品質と性能を確保するために厳密な温度管理も必要です。

Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.

Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.

Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.

シングルチャンネル空冷式クーラーで、主にエッチングマシン用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。

Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.


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経験年数

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25000

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80+

特許技術

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