半導体温度制御装置「チラー」は、主に半導体製造・検査工程における精密な温度制御に使用されています。その製品は流体フッ素化液体温度制御（最低-100度）、ガス冷却と加熱の急速温度変化、急速温度変化チャック、低温ガス冷凍機（-120度）、直接冷却冷凍機（-150度）などがある。同社はシステムに様々なアルゴリズム（PID、フィードフォワードPID、モデルフリー自己構築ツリーアルゴリズム）を適用し、高速応答と高い制御精度を実現しています。

チラーの排気・吸引温度（圧力）、凝縮温度、冷却水温度（圧力）、入口・出口の液体（気体）温度（圧力）、各コンポーネントの電力・電流・電圧、水タンクレベルなどの重要な情報は、制御システムに接続されたセンサーによって総合的に管理・監視・記録される。

40℃以内の加熱方式はコンプレッサー式ホットガス加熱を採用。

チラー循環システムは完全密閉設計を採用し、循環ポンプは磁気駆動ポンプを採用している。

チラー100%ヘリウムテスト、100%安全規制テストにより、システムの安全性と信頼性を確保します。

チラーは100%で24時間コピー機を連続運転する。

ファブ機器の処理温度を制御するチラー

シングルチャンネル空冷式クーラーで、主にエッチングマシン用に設計されています。チャンバー側壁の独立した温度制御に使用されます。

コンフィギュレーション詳細

モデル	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
温度制御	5℃～90℃
温度精度	±0.05℃
フロー制御	10～25L/min 最大5bar		15～45L/min 最大6bar			25～75L/min 最大6bar
冷凍能力@10	6kw	8kw	10kw	15キロワット	20kw	25kw	40kw
内部循環液量	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨張タンク容量	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
冷媒	R410A
二次冷媒	シリコーンオイル、フッ素系液体、エチレングリコール水溶液、DIなど（DIは10℃以上の温度管理が必要）
出入国インターフェース	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ゼットジーワン	ゼットジーワン
冷却水出口	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ゼットジーワン	ゼットジーワン	ゼットジーワン	ZG1 1/8
冷却水流量@20	1.5m³/h	2m³/h	2.5m³/h	4m³/h	4.5m³/h	5.6m³/h	9m³/h
電源 380V	3.5kW	4kW	5.5kW	7kW	9.5kW	12kW	16kW
温度拡張	電気ヒーターを追加することで、温度範囲を-25 ℃から80 ℃に拡大。

モデル	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
温度範囲	-25℃～90℃
温度制御精度	±0.05℃
フロー制御	10～25L/min ±0.3		15～45L/min ±0.3			25～75L/min ±0.3
フロー制御	流量制御は周波数変換器によって調整され、循環ポンプの最大圧力は5barである。
冷凍 @-15℃	2kw	3kw	3.8kw	6kw	7.6kw	10kw	15kw
内部循環液量	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨張タンク容量	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
冷媒	R404A
二次冷媒	水、シリコーンオイル、フッ素系液体、エチレングリコール水溶液など
イングレスとイグレスのインターフェース	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ゼットジーワン	ゼットジーワン
冷却水接続	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ゼットジーワン	ゼットジーワン	ZG1 1/8
冷却水流量@20	1.2m³/H	1.6m³/H	2.6m³/H	3.6m³/H	5.5m³/H	7m³/H	10.2m³/H
力 380V	3KW	4KW	6KW	8KW	9KW	13KW	17KW
温度拡張	電気ヒーターを追加することで、-25℃～80℃まで拡張可能。

モデル	FLTZ-402FLTZ-402W	FLTZ-403FLTZ-403W	FLTZ-404FLTZ-404W	FLTZ-406FLTZ-406W	FLTZ-408FLTZ-408W	FLTZ-410FLTZ-410W	FLTZ-415FLTZ-415W
温度コントロール	-45℃～90℃
温度制御精度	±0.05℃
フロー制御	10～25L/min 最大5bar		15～45L/min 最大6bar			25～75L/min 最大6bar
暖房	コンプレッサーの加熱は、コンデンサーの凍結防止技術に使用されている。
冷凍能力 @-35℃	1kw	1.4kw	1.8kw	2.5kw	3.3kw	5kw	8kw
内部循環液量	4L	5L	6L	8L	10L	12L	20L
膨張タンク容量	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
冷媒	R404A
二次冷媒	水、シリコーンオイル、フッ素系液体、エチレングリコール水溶液など
イングレスとイグレスのインターフェース	ZG1/2	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ZG3/4	ゼットジーワン	ZG3/4
冷却水接続	ZG1/2	ZG3/4	ZG3/4	ゼットジーワン	ゼットジーワン	ゼットジーワン	ZG1 1/8
冷却水流量@20	1.5m³/H	2.4m³/H	3.5m³/H	5m³/H	5.5m³/H	6m³/H	8m³/H
力 380V	3KW	4KW	6KW	7.5KW	9KW	12KW	15KW
温度拡張	電気ヒーターを追加することで、-25℃～80℃まで拡張可能。