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ペルチェチラー/熱電冷却装置

TEC -20℃~90℃

温度精度 ±0.1℃

サーキュラーアークプロセスに信頼性の高い正確な温度制御を提供

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露点温度

≤30℃


供給電圧

AC208V-DC250V
three-phase voltage


CDA活性化温度

＜30℃



LNEYA PAL Pasteクーラーサーモエレクトリッククーラーの温度範囲は-20℃から90℃まで、半導体産業用にカスタマイズされています。実績のあるPAL Pasteヒートポッピング原理に基づいて、PAL Paste温度制御システムは、プラズマエッチングアプリケーションに再現性のある温度制御を提供することができます。静電吸引カップ（ESC）ダイナミック温度制御は、あらゆるタイプのエッチングプロセスを吸収することが可能です。

TEC SERIES

-20°C

最低

90°C

最大

±0.1°C

温度制御精度


型番   TEC-1200W TEC-2500W TEC-4500W
温度制御範囲   -20℃~90℃
温度制御精度   ±0.1℃
冷却能力 20℃ 1200W 2450W 4500W
10℃ 900W 1925W 3500W
0℃ 600W 1400W 2600W
-10℃ 350W 875W 1600W
-20℃ 80W 350W 700W
加熱容量   ＞3000W ＞6000W ＞12000W
ポンプタイプ   直流マグネットポンプ
圧力（bar）   ≤4
流量   15L/min at 2bar
流体   Galden HT135
冷却水温度   DI＜20℃
冷却水流量   ≥12L/min ≥20L/min ≥32L/min
CDA 開放温度   ＜30℃
CDA 圧力   0.5-0.8bar
CDA 流量   2-3m³/h
CDA 露点温度   ≤30℃
供給電圧   AC208V、三相電圧

温度制御原理

1.チャック部品ホルダー

2.循環ポンプ

3.コントローラー

4.熱電式熱交換モジュール

5.電源モジュール

6.冷却水入口

7.冷却水出口

この現場温度制御ソリューションは、反応チャンバー間および異なる反応チャンバー間のプロセスの均質性を大幅に改善します。仕組み：反応チャンバー内の還流波体の温度をリアルタイムで監視し、プロセス中の熱負荷の変化を補正するために供給温度をダイナミックに調整します。現場での温度制御システムにより、反応チャンバーのスループットを迅速かつ大幅に向上 * 反応チャンバーレスシステムにより、湿度を約50%削減

ペレル社製チラーの特長

動作に冷媒を必要とせず、事実上メンテナンスフリー。
ウェーハ対ウェーハの安定性が向上し、コンディショニングのメンテナンスが容易になりました。
暖房および直接冷却のとき、熱く、冷たい部品は流れの直接接触しません;
温度漂流の保護機能は上記をより安定したようにします;
使用の高い信頼性そして費用; 小さい産業スペースの占有
熱伝導性の液体の非常に低い詰物;
低い整理、作り付けの冷却剤および冷却剤システム、負荷が、非常に減るときだけ出力。

FLTZ 5℃~90℃
プロセスチラー

冷却容量 6kW~40kW
冷却水の流れ 1.5m3/h~9m3/h　
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -25℃～90℃
サーマルチラー

冷却容量 2kW~15kW
冷却水流れ 1.2m3/h~10.2m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -45℃～90℃
低温スリラー

冷却容量 1kW~8kW
冷却水流れ 1.5m3/h~8m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -80℃～+90℃
循環の水スリラー

冷却容量 0.6kW~3kW
冷却水の流れ 1.8m3/h~6m3/h
温度制御精度 ±0.1℃

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FLTZ -100℃～+90℃
循環のスリラー

冷却容量 1.5kW~3kW
冷却水の流れ 50L/min~100L/min 2bar~7bar
温度制御精度 ±0.1℃

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当社の半導体チラー工場を信頼してください

当社は自社工場を持ち、温度制御分野で20年以上の経験を持つ強力なチラーサプライヤーです。

ワールドワイドサービス

30,000以上の顧客にサービスを提供。20カ国以上に輸出

認定特許

CE認定、SGS認定、ISO認定

アフターサービス

包括的な技術トレーニングを提供します。年中無休のソリューション提供

プロフェッショナルチーム

2010年に設立され、15年の業界経験を有し、技術者が全従業員数の20％を占める

品質管理

外観検査。性能テスト。電気安全テスト

FAQ

ペルチェチラーは高速かつ正確な温度制御が可能で、あらゆる厳しいプロセス要件を満たすことができます。

ペルチェクーラーのLNEYA TECシリーズには3つのモデルがあり、最初は水冷式です。

はい。カスタマイズも承っております。冷却水はイオン水を使用し、水温は20℃以下です。

半導体検査業界向けの外付け省エネ温度制御ユニットとして。サーモエレクトリックチラーTECは、ペルチェモジュール、ハイバネーター、水冷ヘッド、水ポンプ、水タンク、電源で構成されています。

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